小体积高性能，MEMS传感器加速崛起！

MEMS气体传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

● 热电堆温度传感器，是基于MEMS工艺将上百对热电偶串联而成。利用塞贝克原理，当目标与环境之间存在温度差时，传感器输出对应的电压，从而检测出目标存在或目标的温度。

热电堆温度传感器具有高红外响应率、高重复性、高可靠性和稳定性的特点。在额温/耳温等非接触体温测量、家用电器（空调、护发吹风机、油烟机等）温度测量与控制以及空气调节系统、电力管理系统等领域应用广泛。

气体流量传感器采用新一代MEMS传感器芯片技术，利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。可精确测量极小流量，精度高，响应速度快，重复性好，经过完全校准和温度补偿，同时具有线性模拟电压输出，方便使用。

塑封压力传感器是采用高精度MEMS压力敏感芯片和成熟的生产工艺封装而成的传感器。具有尺寸小、精度高、宽工作温度范围、常温高精度等特点。

MEMS温湿度传感器配有一个ASIC芯片、一个MEMS电容式湿度传感元件和一个温度传感元件。产品的精度、响应时间、测量范围都有巨大优势。